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霍爾離子源 eH 1000
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霍爾離子源 eH 1000

KRI 離子源 EH 1020 F 產品優點:
?EH 1020 F 使用更大功率之陽極電源控制器,可提供更高的離子束電流,以增加更大的使用范圍。相較其它同型離子源,增加20%的離子束電流,及40%的陰極電壓。
?模組化的設計,隨插即用。容易維護,體積縮小30%。
?低溫制程。
?更寬的離子束使用范圍,適用于大型鍍膜機。
?整合型的電源控制器。

KRI 離子源 EH 1020F 耐久磁性離子源 (燈絲型)的特點
?無柵極設計, 針對低能量制程
?單一燈絲, 針對離子化和中和性設計
?陽極模組化設計
?不銹鋼, 相對陽極
?不銹鋼與石墨材質氣體反射器
?MFC氣體質流量控制器
?直徑英制一吋bolt-type feedthroughs兩組1. 3-conductor electrical feedthrough
?18吋長 in-vacuum electrical cable 2. 1/4 吋 OD gas tubing feedthrough
?18吋長 in-vacuum flex gas line
?EH 1000F 電源供應器/控制器與讀取裝置
?Front panel 監控系統
?Soft-start 陰極
?900 Watt, 燈絲電源與發射控制器
?陽極8A, 300V , 可調整范圍 50-300V
?限定電流式電路保護裝置
?離子束自動中和裝置
?規格: 200/240V, 20A, 單向, 50/60Hz
?20尺長, 外部電源供應器連接線
?備用燈絲(10支)
?離子源安裝托架

[選購]
?陽極式水冷組

?KRI 離子源 EH1020 F 離子能量分布


 

KRI 霍爾離子源 eH 1000 技術參數:

型號

eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO

供電

DC magnetic confinement

  - 電壓

40-300V VDC

  - 離子源直徑

~ 5 cm

  - 陽極結構

模塊化

電源控制

eHx-30010A

配置

-

  - 陰極中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

  - 離子束發散角度

> 45° (hwhm)

  - 陽極

標準或 Grooved

  - 水冷

前板水冷

  - 底座

移動或快接法蘭

  - 高度

4.0'

  - 直徑

5.7'

  - 加工材料

金屬
電介質
半導體

  - 工藝氣體

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

  - 安裝距離

10-36”

  - 自動控制

控制4種氣體

* 可選: 可調角度的支架; Sidewinder

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