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移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市( ASM 380 升級款)
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移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市( ASM 380 升級款)

Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!
上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設計研發, 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內置2臺渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產設備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者!

移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 完全符合 Semi S2 標準
檢漏儀 ASM390

上海伯東 Pfeiffer 移動型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:

 型號

ASM 390

ASM 392

ASM 380

 檢測氣體

4He, 3He, H2

 最小檢測漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s

 對氦氣的抽速

10 l/s

25 l/s, 內置2臺分子泵

7 l/s

 前級泵抽速

35 m3/h

 進氣口最大壓力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 無校準的啟動時間(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 進氣口

DN 40 ISO-KF

 響應時間

< 1 s

 Interface,  選配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm


移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應用領域: 可用于半導體和平板顯示器行業以及其他要求極高的應用

移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 目前在售型號:

 型號

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 ASM 390, 通用電壓

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 ASM 390, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF

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 ASM 390, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF

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 ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板

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 ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF

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 ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板,以太網

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 ASM 392, 通用電壓

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