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HVA 真空閘閥 71000 系列
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HVA 真空閘閥 71000 系列

HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環境而設計. 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側密封的門上雙密封設計, 閥門內部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護設計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應用. 

HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統集成, 幾乎滿足所有應用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口

HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數:

 閥門材質:

 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關閉

 2 bar (任意位置)

 - 開啟前最大壓力

 ≤ 1 bar

 烘烤溫度(不含電磁閥):

 - 佛橡膠密封

 150 °c, 可選配置最大 250 °c

 - 驅動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

 - 氣體

 80 psig (5.5 bar)

 - 電磁

 4.0 Watts

 - 供電

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用壽命: > 250,000  啟閉次數 (具體視實際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 50 - 200 mm


HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
美國 HVA 真空閘閥71000系列

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