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市場訊息

上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源成功應用于離子束拋光工藝 ( Ion Beam Figuring, IBF )
離子束拋光加工已逐漸成為光學零件表面超精加工常用的最后一道工藝, 離子源是離子束拋光機的核心部件. 上海伯東美國 KRI 直流電源式考夫曼離子源 KDC 系列成功應用于光學鍍膜離子束拋光機 ( IBF Optical coating ) 及晶體硅片離子束拋光機  ( IBF Clrystalline ) 工藝.
考夫曼離子源通過控制離子的強度及濃度, 使拋光刻蝕速率更快更準確, 拋光后的基材上獲得更平坦, 均勻性更高的薄膜表面. KDC 考夫曼離子源內置型的設計更符合離子源于離子拋光機內部的移動運行. 上海伯東是美國 KRI 考夫曼離子源中國總代理.

KRI 離子源離子束拋光實際案例一:
1. 基材: 100 mm 光學鏡片
2. 離子源條件: Vb: 800 V ( 離子束電壓 ), Ib: 84 mA ( 離子束電流 ) , Va: -160 V ( 離子束加速電壓 ), Ar gas ( 氬氣 ).

離子束拋光前平坦度影像呈現圖
KRI 離子源應用

離子束拋光后平坦度影像呈現圖KRI 離子源應用


KRI 離子源離子束拋光實際案例:
1. 基材: 300 mm 晶體硅片
2. 離子源條件: Vb: 1000 V ( 離子束電壓 ), Ib: 69 mA ( 離子束電流 ), Va: -200 V ( 離子束加速電壓 ) Ar gas ( 氬氣 )

離子束拋光前平坦度影像呈現圖
離子源離子拋光

離子束拋光后平坦度影像呈現圖離子源離子拋光

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